ปั๊มสุญญากาศขนาดเล็กคือปั๊มที่ใช้แก๊สเป็นตัวกลางในการทำงานหลัก เหมาะสำหรับ-การทำงานที่เดินเบาและแห้งในระยะยาว โดยจะสร้างสุญญากาศ (แรงดันลบ) โดยการขับไดอะแฟรมเพื่อดูดก๊าซและปล่อยก๊าซผ่านมอเตอร์-ที่เคลื่อนที่แบบลูกสูบ อุปกรณ์เหล่านี้มีทั้งหัวดูดและหัวดูดไอเสีย รุ่นพิเศษประกอบด้วยรุ่นดูด/ขยายอเนกประสงค์-และรุ่นน้ำ/แก๊สเพื่อปรับให้เข้ากับสภาพการทำงานที่แตกต่างกัน
ส่วนประกอบหลัก ได้แก่ ปั๊มไดอะแฟรมและตัวควบคุมสุญญากาศ ผลิตภัณฑ์ทั่วไปคือ Busch RA0020F (ความเร็วปั๊ม 20 ลบ.ม./ชม. แรงดันสูงสุด 0.1 มิลลิบาร์) การพัฒนาเทคโนโลยีมุ่งเน้นไปที่การย่อขนาด ประสิทธิภาพการใช้พลังงาน และความชาญฉลาด โดยผสมผสานเทคโนโลยีการลอยด้วยแม่เหล็ก เทคโนโลยีการหล่อลื่นแบบไร้น้ำมัน- และการออกแบบที่เป็นมิตรกับสิ่งแวดล้อม การใช้งานหลักๆ ได้แก่ อุปกรณ์ทางการแพทย์ (อุปกรณ์ดูด เครื่องช่วยหายใจ) การตรวจสอบสภาพแวดล้อม การผลิตเซมิคอนดักเตอร์ และอุตสาหกรรมพลังงานใหม่ ขนาดของตลาดในประเทศคาดว่าจะสูงถึง 5 พันล้านหยวนในปี 2567